Viele Prozesse für die Fertigung von Halbleitern und Elektronikbauteilen erfordern, dass bestimmte trockene Bedingungen genau eingehalten werden. Bei zu hoher Luftfeuchtigkeit bzw. Feuchtigkeit bildet sich Korrosion an den „Leitungspunkten“, Kondensation auf der Oberfläche von Mikrochips und Schlechte Haftung von Fotolacken, die zu Betriebsstörungen der Halbleiterbaugruppe führen. Um geeignete Arbeitsbedingungen in Reinst- und Trockenräumen zu gewährleisten, kommen Adsorptions-Luftenfeuchtungsanlagen von Munters zum Einsatz.
Dadurch werden nicht nur optimale und trockene Bedingungen geschaffen. Munters bietet auch ein Sortiment von Produkten für die VOC Reduzierung an, um die mit solchen flüchtigen organischen Verbindungen belasteten Abgase zu reinigen.